(相关资料图)

讯(王珞)必联网发布的中标结果公告显示，2月28日，万业企业（600641）旗下嘉芯迦能的掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备以及钛/氮化钛沉积设备成功中标某公司特色工艺生产线建设招标项目。嘉芯迦能为嘉芯半导体子公司。

自2022年下半年开始，嘉芯半导体研发生产的设备多次中标，包含快速热处理(RTP)、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备、二氧化硅等离子薄膜沉积设备以及铝铜金属溅射设备(PVD)等。